I rene rom for mikroelektronikk og farmasøytisk produksjon brukes eller genereres ofte ulike sure og alkaliske stoffer, organiske løsemidler, generelle gasser og spesialgasser i produksjonsprosessen;i allergifremkallende legemidler, visse steroider I produksjonsprosessen av organiske legemidler, høyaktive og giftige legemidler, vil tilsvarende skadelige stoffer slippes ut eller lekke ut i renrommet.Derfor, produksjonsprosessen utstyr eller prosedyrer som kan avgi ulike skadelige stoffer, gasser eller støv i renrommet for produksjon av de ovennevnte produktene Sett opp lokal eksosenhet eller full rom eksos enhet.Avhengig av typen avgass som slippes ut under produksjonsprosessen, kan eksosanlegget (systemet) grovt deles inn i følgende typer.
(1) Generelt eksosanlegg
(2) Eksosanlegg for organisk gass
(3) Eksosanlegg for syregass
(4) Eksosanlegg for alkalisk gass
(5) Varmgass eksosanlegg
(6) Eksosanlegg som inneholder støv
(7) Spesielt gasseksosanlegg
(8) Skadelig og giftig eksosanlegg i legemiddelproduksjon